工业净化空调方式应用案例

发布日期：2021-12-23

1、大型微电子工业洁净室的应用

大型微电子工业在单向流应用方面最具代表性，且不断为提高其经济性而创造了不同空气净化方式，表27.8-7即三种方式的比较。表27.8-8则列出了四个大型微电子工业洁净室的实例，其特点和适用性已在表中说明。对于采用FFU-新风AHU和平盘表冷器的微电子工业洁净室，新风处理的空气净化的要求特别严格。图27.8-4表示一个新风AHU的处理全过程。图27.8-5则表示实现干盘管的必要的水系统。

2、制药厂的洁净室系统案例

制药厂生产工艺中，关键性的洁净生产部分空间有限，大多在7级（或更低）的洁净室中，用层流罩构成封闭的高洁净度环境。此外，在回风口

设有空气过滤器，对粉剂进行过滤后，空气进入空气处理箱。以避免车间之间交叉污染，在送风管路上。可设如图27.8-6所示的定风量装置，以维持恒定的送风量。对于车间内产尘（药粉）的操作点，可设置如图27.8-7（a）所示的局部自循环的吸尘机组，以及图27.8-7（b）所示的集中式的吸尘系统。通关过滤器，使洁净室空气返回车间。

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